글로벌 집적회로 제조 부문에서 생산 능력 제약은 이미 일상화되어, 지난 2년간 중국의 집적회로 관련 분야에 대한 투자를 크게 촉진시켰습니다. 이 투자 붐은 반도체 장비, 전자 부품 및 특수 전자 소재 제조 산업의 급속한 발전을 촉진했을 뿐만 아니라, PEEK와 같은 고성능 소재에 대한 수요도 급증시켰습니다.
PEEK(폴리에테르에테르케톤) 소재는 뛰어난 내고온성, 내마모성, 치수 안정성, 내화학 부식성 및 가공 용이성을 갖추어 반도체 제조 분야에서 비교할 수 없는 장점을 보여주고 있습니다. 특히 웨이퍼 클램핑 분야에서 PEEK 웨이퍼 클램프는 그 독특한 특성으로 인해 필수적인 도구가 되었습니다. 이 클램프는 웨이퍼의 무결성을 보장하고, 생산 효율을 크게 향상시키며, 수율을 높입니다. 결과적으로 PEEK 웨이퍼 클램프는 반도체 산업에서 점점 더 많은 관심과 폭넓은 응용을 받고 있습니다.
PEEK 웨이퍼 클램프의 핵심 장점은 다음과 같습니다:
1. 오염 없는 클램핑
PEEK 웨이퍼 클램프는 극도로 높은 순도를 가진 개질된 PEEK 과립을 사용하여, 실리콘 웨이퍼를 오염시킬 수 있는 미량 원소가 거의 포함되어 있지 않습니다. 이는 클램핑 과정 중 절대적인 안전성을 보장합니다.
2. 정전기 방지 보호
PEEK 웨이퍼 클램프는 우수한 정전기 방지 특성을 가지고 있으며, 표면 저항률은 10^5에서 10^10Ω 범위입니다. 클램프 헤드의 저항률은 10^7-10^8Ω에 이를 수 있어, 실리콘 웨이퍼에 대한 정전기 방전(ESD) 손상을 효과적으로 방지하고 포괄적인 보호를 제공합니다.
3. 고온 안정성
PEEK 웨이퍼 클램프는 최대 260°C의 고온 환경에서 작동할 수 있으며, 높은 강도, 치수 안정성 및 낮은 열팽창 계수를 유지합니다. 그들의 우수한 미끄럼 및 프레팅 마모 저항성은 클램핑 중 웨이퍼 또는 실리콘 칩 표면에 흠집이나 잔류물이 남지 않도록 하여 표면 청결도를 보존합니다.
특히, Junhua사가 개발한 PEEK5600ESDZ01 과립은 정전기 문제를 해결하기 위해 특별히 설계된 대전 방지 소재입니다. 10^5Ω에서 10^9Ω까지 안정적이고 제어 가능한 표면 저항률을 가지며, 이 소재는 대전 방지 성능, 가공성 및 외관에서 탁월한 성능을 보여줍니다. 전자, 반도체 및 석유 산업에서 광범위하게 응용되어 정전기로 인한 손실을 효과적으로 줄입니다.
또한, 이러한 대전 방지 과립은 방폭 제품 케이싱 및 구조 부품, 예를 들어 전기 제품 케이싱 및 탄광, 유조선, 유전의 구조 부품에 사용됩니다. 이는 그들의 광범위한 응용 전망과 막대한 시장 잠재력을 보여줍니다.